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    技術文章/ TECHNICAL ARTICLES
    
            
    
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    日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵 Model:LR北崎熱賣
    
            
    更新時間：2025-08-19      瀏覽次數：120
    
            
    
            	
    多級羅茨型干泵Model:LR
    通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。



      特點
      • 低溫區域均熱化（Model:LR）
        在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
      • 氦氣密封
        通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。
      • 瞬停對策
        采取了1000msec以內瞬停對策。
      • 出色的耐腐蝕性
        主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。
      • 通信功能
        可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。






      用途
      • 成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
      • 縮短備料下料室的排氣時間
      • 作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）






      規格
      型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
      最大
      排氣速度      		50Hz62 m3/h
      (1030 L/min)      		112 m3/h
      (1860 L/min)      		183 m3/h
      (3100 L/min)      		440 m3/h
      (7333 L/min)      		440 m3/h
      (7333 L/min)
      60Hz80 m3/h
      (1333 L/min)      		126 m3/h
      (2100 L/min)      		237 m3/h
      (3950 L/min)
      到達壓力5.0 Pa
      最大排氣壓力 （吸入圧力）　大氣壓
      最大排氣口壓力
      （排出圧力）      		1~ 大氣壓 Pa
      吸氣口 (CE規格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
      排氣口KF40VG50
      質量180 kg245 kg335 kg415 kg
      電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
      380~440 VAC(50/60 Hz)
      電流值穩定時6.9 A
      (at 200V)      		11.2 A
      (at 200V)      		18.9 A
      (at 200V)      		20.8 A
      (at 200V)
      最大值7.3 A
      (at 200V)      		11.8 A
      (at 200V)      		20.6 A
      (at 200V)      		48.5 A
      (at 200V)
      冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
      冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
      吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
      二次壓力0.05~0.1 MPa
      氮氣吹掃軸5 SLM
      氣鎮0~45 SLM沒有0~45 SLM
      *1 請訂購時指定。


      型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
      (TT)      		LR3601-RLR3601-TR
      (TTR)
      使用泵干式
      真空泵      		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
      機械
      增壓泵      		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
      (-T)      		PRC-036DPRC-036D
      (D-T)
      最大
      排氣
      速度      		50Hz359 m3/h
      (5,980
      L/min)      		653 m3/h
      (10,900
      L/min)      		1,012 m3/h
      (16,900
      L/min)      		1,701 m3/h
      (28,350
      L/min)      		3,200 m3/h(53,333 L/min)
      60Hz365 m3/h
      (6,080
      L/min)      		701 m3/h
      (11,700
      L/min)      		1,051 m3/h
      (17,500
      L/min)      		1,784 m3/h
      (29,700
      L/min)
      到達壓力0.67 Pa
      最大排氣壓力
      （吸入圧力）      		大氣壓
      最大排氣口壓力
      （排出圧力）      		1~ 大氣壓 Pa
      吸氣口 (CE規格)VG80
      (KF80)      		VG100
      (KF100)      		VG150
      (KF100)      		VG150
      排氣口KF40KF50
      MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
      TT:×      		×TR:×
      TTR:〇
      質量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
      電源
      *2      		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
      電流值穩定時7.0 A
      (at 200V)      		12.3 A
      (at 200V)      		13.7 A
      (at 200V)      		21.4 A
      (at 200V)      		31.0 A(at 200V)
      20.5 A(at 400V)      		35.4 A(at 200V)
      20.5 A(at 400V)
      最大值9.6 A
      (at 200V)      		19.0 A
      (at 200V)      		24.2 A
      (at 200V)      		39.8 A
      (at 200V)      		58.4 A(at 200V)
      40.5 A(at 400V)      		82.0 A(at 200V)
      40.5 A(at 400V)
      冷卻水
      一次壓力      		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水
      出入口壓差      		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
      冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
      吹掃氣一次
      壓力      		0.1~0.5 MPa
      二次
      壓力      		0.05~0.1 MPa
      N2
      吹掃      		軸5 SLM
      氣鎮0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM
      *1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進行MBP表面處理。
      *2 請訂購時指定。
      *3 根據用途，使用氣鎮的規格也可報價。


      配飾
      ■消音器 (選項)
      型號材質表面處理重量
      (kg)      		法蘭
      接口      		LR
      300      		LR
      600      		LR
      1200      		LR
      1800      		L&
      3601      		LR
      60      		LR
      90      		LR
      180      		LR
      421      		LR
      421-T
      RS-01 +
      kitA      		SUS
      304      		GBB處理4.1
      kg      		KF40〇----〇〇---
      RS-01 +
      kitB      		KF40-〇〇-------
      RS-02 +
      kitA      		8.3
      kg      		KF40〇------〇--
      RS-02 +
      kitB      		KF40-〇〇〇------
      RS-03 +
      kitA      		磨板12.5
      kg      		KF50--------〇〇
      RS-03 +
      kitB      		----〇-----


      排氣速度曲線
      • LR60
      LR60_curve.png
      • LR90
      LR90_curve.png
      • LR180
      LR180_curve.png
      • LR421-T
      LR421_curve.png
      • LR300 / LR600
      LR300_600_curve.png
      • LR1200
      LR1200_curve.png
      • LR1800
      LR1800_curve.png
      • LR3601(-R / -TR / -TTR)
      LR3601R_TR_TTR_curve.png
      • LR3601(-T / -TT)
      LR3601T_TT_curve.png





        
            
        
            
		
        
            
    
        
    
        

        




        
    
        
        
        
        
        	
            
            
        
            	
        電話：TEL
        
                86-010-67868591
                
        地址：ADDRESS
        
                朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B
            
        
            
        
                
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