產(chǎn)品分類

PRODUCT CATEGORY

技術(shù)文章/ TECHNICAL ARTICLES

我的位置：首頁 > 技術(shù)文章 > 日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵HR60北崎熱賣

日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵HR60北崎熱賣

更新時間：2025-08-19

瀏覽次數(shù)：114

多級羅茨型干泵

多級羅茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液體的機械真空泵。
在FPD、電子和半導體行業(yè)等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高良率和可維護性。代表性的泵之一是羅茨式干真空泵。

多級羅茨式干真空泵在稱為外殼的盒子內(nèi)有兩個三葉轉(zhuǎn)子，它們通過一對齒輪以相同頻率沿相反方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子彼此不接觸，或者轉(zhuǎn)子與殼體不接觸，并且在保持小間隙的同時旋轉(zhuǎn)以傳送和壓縮氣體。轉(zhuǎn)子具有多級結(jié)構(gòu)，將其壓縮至大氣壓，并將其排放到大氣中。轉(zhuǎn)子外殼內(nèi)不使用油或其他密封液體，可實現(xiàn)清潔排氣。齒輪和軸承使用油進行潤滑，但設計了密封結(jié)構(gòu)以防止油進入殼體。

通過高溫領域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

高溫區(qū)域均熱化
實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
“Model:UR"可比“Model:HR"更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

機械增壓泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

最大
排氣速度

50Hz

m³/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m³/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到達壓力

0.67

最大排氣壓力
（吸入圧力）

大氣壓 *1

最大排氣壓力
（吸入圧力）

1~ 大氣壓

吸氣口 (CE規(guī)格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

質(zhì)量

180

245

275

370

420

電源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

電流值

穩(wěn)定時

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

最大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷卻水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷卻水出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水流量

L/min

>5.0

吹掃氣

一次壓力

MPa

0.1~0.5

二次壓力

MPa

0.05~0.1

N2吹掃

軸

SLM

氣鎮(zhèn)

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。

尺寸圖

HR60	HR90
HR180	HR300
HR600	HR1200

上一篇：日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵 Model:LR北崎熱賣
下一篇：日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵 Model:LS120A北崎熱賣