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技術(shù)文章/ TECHNICAL ARTICLES
更新時(shí)間：2025-11-26 
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任何方向
緊湊尺寸
節(jié)能
快速啟動(dòng)
用燃?xì)馀艢饪焖訇P(guān)閉
用于沖擊氣流的堅(jiān)固結(jié)構(gòu)
串行通信
（RS232C 串行接口）
認(rèn)證安全標(biāo)準(zhǔn)NRTL / SEMI-S2 / CE
應(yīng)用
半導(dǎo)體生產(chǎn)
電子槍排氣，電離源排氣
FPD制造
表面處理，表面改性
各種電子元件的制造
分析與測(cè)試設(shè)備
燈具生產(chǎn)，光學(xué)元件生產(chǎn)
加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
熱處理
研究與開(kāi)發(fā)
*如果排放腐蝕性氣體，請(qǐng)選擇我們的化學(xué)用途TG-M系列或TG系列。
| 進(jìn)氣法蘭 | VG100 ISO-R100 CF100 | |
| 流量 | VG/ISO-R·CF N2（L/s） | 350/330 |
| VG/ISO-R·CF N2 （帶防護(hù)屏障） （L/s） | 330/310 | |
| VG/ISO-R·CF H2（L/s） | 210/210 | |
| 壓縮 比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 基壓 | （帕/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 吞吐量※1 | （SCCM） | 500 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | （分鐘） | 2-2.5 |
| 停工時(shí)間 | （分鐘） | 5-6.5 |
| 背 壓 | （帕/托爾） | 260/2 |
| 推薦 的倒吸 真空泵 | （L/min） | ≧80 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF（kg） | 6/9 |
| 控制器 | TC353 | |
*1：使用160升/分鐘的后備真空泵時(shí)。
[環(huán)境溫度使用]
確保達(dá)到壓力的環(huán)境溫度范圍是10-23°C。允許的環(huán)境溫度為風(fēng)冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的最高溫度（保證最終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對(duì)應(yīng)氣體]
一些服務(wù)氣體會(huì)腐蝕潤(rùn)滑脂和內(nèi)部部件。請(qǐng)聯(lián)系大阪真空，獲取適用的燃?xì)忸愋土斜怼?/p>
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