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更新時間：2025-11-26 
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任何方向
緊湊尺寸
節能
快速啟動
用燃氣排氣快速關閉
用于沖擊氣流的堅固結構
串行通信
※RS232C 串行接口
應用
半導體生產
電子槍排氣，電離源排氣
FPD制造
表面處理，表面改性
各種電子元件的制造
分析與測試設備
燈具生產，光學元件生產
加速裝置、輻射設施、核聚變研究
熱處理
研究與開發
*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M系列或TG系列。
| 型 | TG50F | |
| 進氣法蘭 | VG65/ISO-R63/CF63 | |
| 流量 | N2（L/s） | 51 |
| N2（帶防護 屏障）（L/s） | 49 | |
| H2（L/s） | 12 | |
| 壓縮比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 基壓 | VG?ISO-R/CF（賓夕法尼亞州） | <3×10-6 |
| VG?ISO-R/CF（托爾） | <2.3×10-8 | |
| 吞吐量※1 | N2（SCCM） | 80 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 1-1.5 |
| 停工時間 | （分鐘） | 1-1.5 |
| 背壓 | （帕/托爾） | 1330/10 |
| 推薦的倒吸真空泵 | （L/min） | ≧50 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF（kg） | 4.2/6 |
| 控制器 | TC64 | |
*1：使用100升/分鐘的備份真空泵時。
[環境溫度使用]
確保達到最終壓力的環境溫度范圍為10-23°C。允許的環境溫度為空氣冷卻類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。確保最終壓力的冷卻水溫度為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內部部件。請聯系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。
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