LINTEC林泰克將20SLM的N2氣體加熱至300℃HX-0051H北崎熱賣

更新時(shí)間：2025-05-29

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小型氣體加熱器（熱交換器）

瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。

小型氣體加熱器的用途

可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

各種流體加熱

該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。

瞬間且穩(wěn)定的流體加熱

在配管中流動(dòng)的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點(diǎn)。

通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點(diǎn)，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。

質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱

在半導(dǎo)體制造工藝中，不僅需要對氣體進(jìn)行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC自主研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu)，適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。

高溫?zé)峤粨Q器HX-0051H

最高使用溫度達(dá)300℃的小型熱交換器。

特點(diǎn)

面間距169㎜×長度177㎜的緊湊型設(shè)計(jì)
可將20SLM的N2氣體加熱至300℃
適合用于固體升華、液體汽化供給中的載氣加熱

HX-0051H

使用范例

液體汽化、固體升華中的載氣加熱

導(dǎo)入液體汽化器的載氣流量一旦超過5SLM，汽化室溫度就會(huì)降低，從而影響汽化效率。鼓泡法、固體升華同樣存在這一缺陷。要想使汽化或升華反應(yīng)持續(xù)穩(wěn)定，對載氣進(jìn)行溫度管理是必要的要素。HX-0051H系列熱交換器的最高使用溫度可達(dá)300℃，適合對載氣進(jìn)行加熱。

規(guī)格表

	流量(N2換算)	壓力損失(N2)	耐壓(G)	使用溫度	接觸氣體部位材質(zhì)
規(guī)格	20SLM	40kPa	1MPa	300℃	SUS316L不銹鋼

※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。

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