產(chǎn)品分類
更新時(shí)間：2025-05-29 
瀏覽次數(shù)：289瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。
可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
在配管中流動(dòng)的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點(diǎn)。
通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點(diǎn)，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。
在半導(dǎo)體制造工藝中，不僅需要對(duì)氣體進(jìn)行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC自主研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu)，適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。
最高加熱溫度200℃的小型氣體加熱器。
面間距160㎜×長(zhǎng)度55㎜的緊湊型設(shè)計(jì)
可將10SLM的N2加熱至200℃
接觸氣體部分接采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)，可加熱對(duì)其無腐蝕性的氣體
真空、加壓條件下也可使用
HX-0020
液化氣體通常用于ALD(原子層沉積)和CVD(化學(xué)氣相沉積)等真空沉積工藝，但用室溫氣體吹掃會(huì)發(fā)生冷卻、冷凝的現(xiàn)象，從而使吹掃效果大打折扣。熱吹掃則有效解決了這一問題。小型氣體加熱器HX-0020系列的的空間面積與MFC所差無幾，且最高加熱溫度為200℃，可對(duì)使用端(POU)附近的氣體進(jìn)行加熱，因此成為了ALD和CVD等真空沉積設(shè)備熱吹掃工藝的理想選擇。
| 流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接觸氣體部分材質(zhì) | |
| 規(guī)格 | 10SLM | 14kPa | 1MPa | 200℃ | SUS316L不銹鋼 |
※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請(qǐng)直接致電或郵件咨詢LINTEC。
關(guān)于我們
公司簡(jiǎn)介榮譽(yù)資質(zhì)資料下載產(chǎn)品展示
GF-603AWP最小稱重1.8g日本AND精密天平 GF-403AWP可讀性0.001 克AND精密天平 GX-203AWP防止損壞重量傳感器AND精密天平 GX-224A日本AND最小穩(wěn)重120mg精密天平 GF-324A雙向 USB 接口日本AND高級(jí)精密分析天平服務(wù)與支持
技術(shù)文章新聞中心聯(lián)系我們
聯(lián)系方式在線留言版權(quán)所有 © 2025 北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司 備案號(hào)：京ICP備17005343號(hào)-5
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登陸 sitemap.xml
電話：TEL
地址：ADDRESS
掃碼關(guān)注我們
我的位置：
上一篇：
在線咨詢
返回頂部